VDI 2083 Blatt 7
Reinraumtechnik - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung
Auf einen Blick
- Englischer Titel
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Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution
- Erscheinungsdatum
- 2015-10
- Herausgeber
- Bauen und Gebäudetechnik
- Autor
- Technische Gebäudeausrüstung
- Zugehörige Handbücher
- Seitenanzahl
- 76
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
- Kurzreferat
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Die Richtlinie befasst sich mit der Spezifikation von Reinstmedien (Dampf, Gasen und Chemikalien) für Prozesse in der Reinraumtechnik sowie mit den Verteilsystemen für solche Medien. Die Richtlinie bietet eine Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb und Überwachung von Reinstmedien-Versorgungssystemen, und unterstützt Planer, Systemlieferanten und Betreiber in ihrer Arbeit. Sie ist vorgesehen als Ersatz für VDI 2083 Blatt 7 und Blatt 10.
