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VDI 2083 Blatt 7

Reinraumtechnik - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung

Auf einen Blick

Englischer Titel

Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution

Erscheinungsdatum
2025-01
Herausgeber
Bauen und Gebäudetechnik
Autor
Technische Gebäudeausrüstung
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
77
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Die Richtlinie befasst sich mit der Spezifikation von Reinstmedien (Dampf, Gasen und Chemikalien) für Prozesse in der Reinraumtechnik sowie mit den Verteilsystemen für solche Medien. Die Richtlinie bietet eine Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb und Überwachung von Reinstmedien-Versorgungssystemen, und unterstützt Planer, Systemlieferanten und Betreiber in ihrer Arbeit.

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