VDI 2083 Blatt 7
Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution
Auf einen Blick
- Englischer Titel
-
Reinraumtechnik - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung
- Erscheinungsdatum
- 2025-01
- Herausgeber
- Engl. VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
- Zugehörige Handbücher
- Seitenanzahl
- 77
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
- Kurzreferat
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The standard deals with the specification of ultrapure media (steam, gases, chemicals) for contamination-controlled processes and with the distribution systems for such media. The standard provides a summary of knowledge regarding the design, construction, operation and monitoring of high purity supply systems, and supports planners, system suppliers and operators in their work.
