VDI 2083 Blatt 4
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Zurückgezogen
Cleanroom technology - Surface cleanliness
Auf einen Blick
- Englischer Titel
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Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit
- Erscheinungsdatum
- 1996-02
- Zurückziehungsdatum
- 2007-12
- Ersatzdokument
- Herausgeber
- Engl. VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
- Zugehörige Handbücher
- Seitenanzahl
- 51
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
- Kurzreferat
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The document is intended as an aid for the planning, generation, maintenance, restoration and evaluation of the required cleanliness on surfaces in cleanrooms. It includes the classification of the surface cleanliness, the requirements on the cleanliness and suitability of surfaces; the procedures for the cleaning and decontamination of surfaces; the test methods for the evaluation of the surface cleanliness.