VDI/VDE 2655 Blatt 1.4
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Project
Optische Messtechnik an Mikrotopografien; Kalibrieren von konfokalen Messystemen für die Formmessung
At a glance
- German title
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Optical measurement of microtopography; Calibrating confocal measurement systems for shape measurement
- Possible publication date
- 2025-07
- Publisher
- Mess- und Automatisie-<br>rungstechnik
- Author
- Anwendung der Mess- und Sensortechnik
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- Abstract
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Die Richtlinie enthält die Beschreibung der Kalibrierung für konfokale Mikroskope für die Formmesstechnik.