VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
At a glance
- German title
-
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
- Publication date
- 2020-02
- Publisher
- Mess- und Automatisie-<br>rungstechnik
- Author
- Digitalisierung und Virtualisierung
- Related manuals
-
- VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren - Band 3: Betriebsmittel
- VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren Band 3 - Kauf Regelwerk Online
- VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik
- VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik - Kauf Regelwerk Online
- VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien
- VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien - Kauf Regelwerk Online
- Number of pages
- 50
- Available in
- German, English
- Abstract
-
Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.