VDI 2083 Blatt 7
Reinraumtechnik - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung
At a glance
- German title
-
Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution
- Publication date
- 2025-01
- Publisher
- Bauen und Gebäudetechnik
- Author
- Technische Gebäudeausrüstung
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- Number of pages
- 77
- Available in
- German, English
- Abstract
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Die Richtlinie befasst sich mit der Spezifikation von Reinstmedien (Dampf, Gasen und Chemikalien) für Prozesse in der Reinraumtechnik sowie mit den Verteilsystemen für solche Medien. Die Richtlinie bietet eine Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb und Überwachung von Reinstmedien-Versorgungssystemen, und unterstützt Planer, Systemlieferanten und Betreiber in ihrer Arbeit.