VDI 2083 Blatt 4
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Withdrawn
Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit
At a glance
- German title
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Cleanroom technology - Surface cleanliness
- Publication date
- 1996-02
- Withdrawal date
- 2007-12
- Replacement document
- Publisher
- Bauen und Gebäudetechnik
- Author
- Technische Gebäudeausrüstung
- Related manuals
- Number of pages
- 51
- Available in
- German, English
- Abstract
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Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.