VDI 2083 Blatt 14 - Withdrawn without replacement

Reinraumtechnik - Molekulare Verunreinigung aus der Reinraumluft (AMC)

At a glance

German title

Cleanroom technology - Airborne molecular contamination (AMC) in cleanrooms

Publication date

2008-04

Withdrawal date

2009-07

End date of the objection deadline

2008-09-30

Publisher

Bauen und Gebäudetechnik

Author

Technische Gebäudeausrüstung

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• VDI-Handbuch Raumlufttechnik

Number of pages

32

Available in

German

Abstract

Diese Richtlinie behandelt die Auswirkungen chemischer Kontamination auf die in Reinräumen befindlichen Menschen, die gefertigten oder gelagerten Rohstoffe und Produkte sowie Hilfsmittel. Die Richtlinie legt allgemeine Grundsätze zur Behandlung, Handhabung, Vermeidung und Verminderung chemischer Kontamination in Reinräumen fest. Diese Grundsätze basieren auf den Leistungsmerkmalen bekannter und verfügbarer technischer Lösungen sowie auf den ökonomischen Merkmalen dieser Lösungen. Es ist ausdrücklich darauf verwiesen, dass andere Medien als die Luft ebenfalls Träger von Verunreinigungen für AMC auf Prozesse, Produkte und den Menschen sein können. Dies sind insbesondere Wasser, wässrige Lösungen, weitere Prozessflüssigkeiten und Prozessgase. Die chemische Kontamination dieser Medien hat Auswirkungen in allen betroffenen produzierenden Industrien, z. B. der Mikroelektronik, Optik, dem Bereich Nahrungsund Genussmittel, der Pharmazie, Gentechnik und Medizintechnik. Die molekulare Kontamination flüssiger und gasförmiger Prozessmedien ist jedoch nicht Bestandteil dieser Richtlinie. Der Geltungsbereich der Richtlinie umfasst alle Produktions- und Lagerbereiche betroffener Industrien unter Reinraumbedingungen, in denen Produkte und Prozesse durch AMC beeinflusst werden können.

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