VDI 2083 Blatt 13.2
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Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen
At a glance
- German title
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Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications
- Publication date
- 2009-01
- Publisher
- Bauen und Gebäudetechnik
- Author
- Technische Gebäudeausrüstung
- Related manuals
- Number of pages
- 52
- Available in
- German, English
- Abstract
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Zweck dieser Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich der Planung, dem Bau, dem Betrieb und der Überwachung von Wasseraufbereitungsanlagen zur Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser. Diese Richtlinie gilt für die Qualitätsanforderungen, die Erzeugung und die Versorgung mit Reinstwasser von Prozessen mit hohen Reinheitsanforderungen, wie sie in der Reinraumtechnik verwendet werden. In der Kraftwerkstechnik und Kernkraftwerkstechnik werden ähnliche Prozesse und Systeme verwendet, diese sind aber nicht Gegenstand dieser Richtlinie, da sie an anderer Stelle beschrieben werden. Das Reinstwasser wird in verschiedenen Anwendungen genutzt einerseits für Reinigungsprozesse und andererseits zur Verdünnung von konzentrierten Reinstchemikalien auf Gebrauchslösungskonzentrationen, oder es geht in das herzustellende Produkt über. So werden z. B. kontaminierte Oberflächen vor der Durchführung sensibler Arbeitsprozesse mit Reinstwasser gereinigt. An das hierzu eingesetzte Reinstwasser werden hohe Anforderungen bezüglich partikulärer, chemischer und biologischer Reinheit bei der Anwendung gestellt. Im Anwendungsbereich der technischen Anwendungen, insbesondere der Mikroelektronik/ Halbleitertechnik, liegt der Schwerpunkt, bedingt durch die Verkleinerung der Strukturen, auf der Entfernung möglichst aller partikulären, chemischen und biologischen Kontaminationen. Die zur Anwendung kommenden Reinstwassersysteme strukturieren sich in: Aufbereitung einschließlich Vorbehandlung Speicherung und Verteilung Nutzung einschließlich Qualitätsmonitoring Die für die Reinstwasseraufbereitung notwendigen Verfahrensschritte und somit der Systemaufbau werden bestimmt aus der vorliegenden, durch örtliche Gegebenheiten geprägten Rohwasseranalyse und aus der im konkreten Anwendungsfall vorgegebenen Reinstwasserzielanalyse. Umwelttechnische Rahmenbedingungen, z. B. die Forderung nach einem verminderten Chemikalieneinsatz sowie die ortsspezifischen Kosten für Wasser und andere Betriebskosten, beeinflussen ebenfalls die Auswahl der einzelnen Verfahrensschritte. Die Speicherung und Verteilung wird bestimmt durch die örtlichen Aufstellungsgegebenheiten und den anzuschließenden Nutzungseinheiten. Allgemein gilt, dass aus einer Vielfalt von Lösungsmöglichkeiten eine wirtschaftliche Lösung erarbeitet werden muss.