VDI 2083 Blatt 10
-
Withdrawn without replacement
Reinraumtechnik - Reinstmedien-Versorgungssysteme
At a glance
- German title
-
Cleanroom technology - High-Purity/Ultra-High-Purity (HP-/UHP-)media supply systems
- Publication date
- 1998-02
- Withdrawal date
- 2015-10
- Publisher
- Bauen und Gebäudetechnik
- Author
- Technische Gebäudeausrüstung
- Related manuals
- Number of pages
- 26
- Available in
- German, English
- Abstract
-
Reinstmedien (Chemikalien und Gase) werden in zunehmendem Maße für viele Produktionszwecke eingesetzt. Sie kommen in Reinsttechnologien wie z.B. der Halbleiterfertigung, Solartechnik, Faseroptik, Mikromechanik und vergleichbaren Branchen zur Versorgung vor. Ziel ist es, die Reinheit zwischen Medienanlieferung (Point of Supply/P.O.S.) und dem Eingang beim Verbraucher (Point of Entry/P.O.E.) nicht, bwz. nur in einem zulässigen Bereich zu verschlechtern. Zweck der Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb, Überwachung und Dokumentation von Reinstmedien-Versorgungssystemen. Die Reinheit bezieht sich auf die Verunreinigung mit Partikeln, Kationen, Anionen, TOC und anderen spezifischen Parametern (Fremdgase, Feuchte, usw.). Es werden keine Angaben über Reinheitsanforderungen angegeben, diese sind bezüglich den unterschiedlichen Anwendungen mit dem jeweiligen Betreiber zu definieren.